衡岳真空

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真空镀膜、 磁控溅射、 电子束蒸发、 反应磁控溅射、 溅射、 离子束溅射、 蒸发、

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衡 岳 真 空 专 注 真 空 镀 膜 首 页 产 品 联 系 我 们 服 务 新 产 品 ： 反 应 磁 控 溅 射 系 统 ： 高 薄 膜 质 量 、 高 精 度 高 均 匀 性 、 适 合 研 发 和 量 产 。 点 击 浏 览 产 品 彩 页 公 司 背 景 ： 三 河 市 衡 岳 真 空 设 备 有 限 公 司 由 张 诚 博 士 于 2 0 1 5 年 创 立 ， 专 注 于 高 端 真 空 镀 膜 设 备 研 发 及 制 造 的 高 科 技 公 司 。 公 司 位 于 三 河 市 燕 郊 开 发 区 全 景 工 业 园 ， 拥 有 1 5 0 0 平 方 米 标 准 厂 房 。 公 司 汇 集 了 薄 膜 工 艺 、 自 动 化 控 制 、 机 械 制 造 等 各 方 面 优 秀 人 才 。 公 司 总 经 理 张 诚 2 0 0 4 年 初 获 北 京 理 工 大 学 光 学 薄 膜 专 业 博 士 学 位 ， 之 后 1 2 年 时 间 里 服 务 于 欧 美 真 空 镀 膜 设 备 公 司 驻 华 机 构 ， 先 后 负 责 过 中 国 市 场 的 销 售 、 技 术 服 务 以 及 外 销 设 备 在 国 内 的 生 产 制 造 ， 积 累 了 丰 富 的 实 践 经 验 。 公 司 理 念 ： 以 工 艺 为 导 向 ， 坚 持 技 术 创 新 ， 坚 持 自 主 核 心 技 术 ， 为 用 户 设 计 制 造 技 术 优 良 、 稳 定 可 靠 、 操 作 方 便 的 真 空 镀 膜 系 统 。 一 ． 坚 持 工 艺 为 导 向 ： 公 司 坚 持 以 工 艺 为 导 向 ， 为 客 户 提 供 完 善 的 工 艺 解 决 方 案 ， 并 与 2 0 1 6 年 底 成 立 了 镀 膜 工 艺 中 心 。 1 . 对 比 较 特 殊 的 工 艺 ， 衡 岳 工 艺 部 门 可 提 供 试 镀 服 务 ， 保 证 客 户 买 得 放 心 ； 2 . 从 工 艺 角 度 出 发 改 进 设 备 ， 使 设 备 贴 合 工 艺 要 求 ； 3 . 提 供 镀 膜 外 协 服 务 ； 二 ． 坚 持 核 心 技 术 自 主 研 发 ： 技 术 创 新 是 公 司 的 价 值 和 生 命 ， 公 司 坚 持 自 行 开 发 核 心 部 件 ， 以 保 证 核 心 竞 争 力 和 技 术 持 续 改 进 能 力 。 衡 岳 真 空 成 立 后 两 年 半 时 间 内 ， 在 研 发 上 的 累 计 投 入 已 经 超 过 5 0 0 万 人 民 币 。 到 2 0 1 7 年 9 月 ， 公 司 提 交 了 三 项 发 明 专 利 申 请 。 设 备 方 面 完 成 了 下 列 技 术 工 作 ： 1 . 完 善 定 型 了 常 规 磁 控 溅 射 系 统 S P 5 3 0 和 S P 6 0 0 ； 2 . 完 善 定 型 了 电 子 束 蒸 发 镀 膜 机 E B 4 5 0 ， E B 6 6 0 ， E B 8 0 0 ， E B 9 0 0 ； 3 . 开 发 定 型 了 高 频 感 应 蒸 发 系 统 I H 4 5 0 ； 4 . 开 发 定 型 了 精 密 磁 控 溅 射 系 统 A S P 7 5 0 ， A S P 9 0 0 ， A S P 1 2 0 0 （ 均 匀 性 优 于 ± 0 . 5 % ， 重 复 性 + / 1 % ） ； 5 . 开 发 定 型 了 反 应 磁 控 溅 射 系 统 R S P 7 5 0 ， R S P 9 0 0 , R S P 1 2 0 0 （ 均 匀 性 优 于 ± 0 . 5 % ， 重 复 性 + / 1 % ） 。 自 行 开 发 完 成 的 核 心 部 件 包 括 ： 1 . 开 发 定 型 了 2 1 0 英 寸 直 径 的 圆 形 磁 控 溅 射 靶 枪 ； 2 . 开 发 了 用 于 溅 射 的 直 流 溅 射 电 源 ， 直 流 脉 冲 电 源 ； 3 . 开 发 了 磁 控 溅 射 用 自 动 切 换 器 ； 4 . 开 发 了 用 于 自 动 进 样 的 机 械 传 送 装 置 ； 5 . 开 发 了 高 频 感 应 蒸 发 用 多 坩 埚 旋 转 机 构 6 . 开 发 了 两 种 离 子 源 ， 包 括 一 种 霍 尔 源 和 一 种 新 型 的 免 维 护 射 频 离 子 源 ； 产 品 和 服 务 ： 真 空 镀 膜 设 备 ： S P 5 3 0 、 S P 6 0 0 共 焦 磁 控 溅 射 系 统 适 合 于 直 流 、 脉 冲 直 流 、 射 频 磁 控 溅 射 金 属 、 介 质 材 料 薄 膜 ； E B 4 5 0 、 E B 6 6 0 、 E B 8 0 0 、 E B 9 0 0 电 子 束 蒸 发 系 统 可 以 配 置 射 频 离 子 源 ； E H 4 5 0 高 频 感 应 蒸 发 系 统 采 用 高 频 电 流 感 应 的 方 式 蒸 发 蒸 发 温 度 在 1 5 0 0 度 以 下 的 材 料 ， 相 比 传 统 阻 蒸 具 有 蒸 发 速 率 稳 定 ， 装 料 量 大 ， 节 省 材 料 ， 坩 埚 可 以 反 复 使 用 等 优 点 ， 替 代 传 统 电 阻 蒸 发 ； A S P 7 5 0 ， A S P 9 0 0 ， A S P 1 2 0 0 精 密 磁 控 溅 射 系 统 适 合 于 批 量 生 产 及 要 求 高 均 匀 性 、 重 复 性 磁 控 溅 射 镀 膜 ， 采 用 垂 直 溅 射 方 式 ； R S P 7 5 0 ， R S P 9 0 0 ， R S P 1 2 0 0 反 应 磁 控 溅 射 系 统 采 用 反 应 磁 控 溅 射 方 式 镀 制 氧 化 物 或 者 氮 化 物 ， 薄 膜 致 密 性 超 过 电 子 束 离 子 辅 助 沉 积 ， 均 匀 性 、 重 复 性 好 ， 可 以 进 行 精 密 光 学 镀 膜 ， 或 者 镀 制 高 致 密 性 氧 化 物 、 氮 化 物 薄 膜 ； 真 空 镀 膜 服 务 ： 公 司 工 艺 部 承 接 镀 膜 外 协 服 务 ， 以 及 为 设 备 提 供 工 艺 开 发 、 试 镀 服 务 。 公 司 优 势 ： 性 价 比 高 ： 所 有 定 型 设 备 ， 性 能 均 等 同 或 者 超 过 国 外 同 类 进 口 设 备 ， 有 竞 争 力 的 价 格 ， 优 质 快 捷 的 技 术 支 持 和 售 后 服 务 ； 研 发 能 力 强 ： 公 司 汇 集 了 机 械 设 计 、 自 动 化 控 制 、 薄 膜 工 艺 的 专 业 人 才 ， 现 有 博 士 一 人 ， 硕 士 六 人 ， 本 科 1 6 人 ， 有 持 续 研 发 改 进 设 备 的 能 力 ； 公 司 重 要 事 件 ： 2 0 1 7 年 6 月 改 进 了 高 频 感 应 蒸 发 技 术 ， 使 其 可 以 蒸 发 材 料 的 最 高 温 度 从 7 0 0 度 提 高 到 1 5 0 0 度 ， 大 大 增 加 了 高 频 感 应 蒸 发 技 术 的 适 用 范 围 ； 2 0 1 7 年 5 月 定 型 了 新 型 射 频 离 子 源 R I S 系 列 ； 2 0 1 7 年 4 月 定 型 了 反 应 磁 控 溅 射 系 统 R S P 1 2 0 0 ， 相 比 测 试 型 R S P 系 统 性 能 大 幅 提 升 ； 2 0 1 6 年 1 0 月 优 化 改 进 了 进 样 室 ， 大 幅 提 高 了 进 样 室 传 送 稳 定 性 ； 2 0 1 6 年 8 月 优 化 改 进 了 磁 控 溅 射 靶 枪 结 构 ， 解 决 了 靶 材 安 装 面 变 形 的 问 题 ， 一 方 面 提 高 了 靶 材 散 热 效 果 ， 从 而 保 证 工 艺 稳 定 性 ； 另 一 方 面 解 决 了 安 装 面 变 形 挤 碎 化 合 物 靶 材 的 问 题 ； 2 0 1 6 年 6 月 定 型 了 量 产 型 精 密 磁 控 溅 射 系 统 （ A S P 系 列 ） ； 2 0 1 5 年 1 0 月 推 出 测 试 版 反 应 磁 控 溅 射 系 统 R S P 7 5 0 ； 2 0 1 5 年 8 月 定 型 高 频 感 应 蒸 发 技 术 和 设 备 （ I H 系 列 ） ； 2 0 1 5 年 6 月 定 型 常 规 磁 控 溅 射 台 （ S P 系 列 ） ; 2 0 1 5 年 5 月 定 型 电 子 束 蒸 发 设 备 （ E B 系 列 ） ； 新 型 射 频 离 子 源 ： 高 离 化 率 、 无 污 染 、 无 损 伤 、 免 维 护 、 可 以 长 时 间 连 续 工 作 点 击 浏 览 产 品 彩 页 衡 岳 真 空 专 注 于 物 理 气 相 沉 积 技 术 ， 为 您 解 决 镀 膜 问 题 冀 公 网 安 备 1 3 1 0 8 2 0 2 0 0 1 0 1 5 号 冀 I C P 备 1 6 0 1 7 5 5 6 号 1

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